特許
J-GLOBAL ID:201003090411384077
成形型
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
金山 聡
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 藤枡 裕実
, 後藤 直樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-167446
公開番号(公開出願番号):特開2010-005899
出願日: 2008年06月26日
公開日(公表日): 2010年01月14日
要約:
【課題】成形型と転写層の剥離工程における成形型の破損を抑制し、かつ成形時における反りが小さい成形型を提供する。【解決手段】成形型1は、一方の面側に凹凸パターンを有する第1の基板11と、前記第1の基板11の前記凹凸パターン形成面の反対側に接合された第2の基板12と、前記第2の基板12を前記第1の基板11とで挟持して配置され、前記第2の基板12と接合された第3の基板13と、を具備し、前記第1の基板11と前記第3の基板13は熱膨張係数が同一あるいは略同一の材料からなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一方の主面側に凹凸パターンを有する第1の基板と、
前記第1の基板の前記凹凸パターンの形成面の反対側に接合された第2の基板と、
前記第2の基板を前記第1の基板とで挟持して配置され、前記第2の基板と接合された第3の基板と、を具備し、
前記第1の基板と前記第3の基板は熱膨張係数が同一あるいは略同一の材料からなることを特徴とする成形型。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (24件):
4F202AJ06
, 4F202AJ09
, 4F202AM35
, 4F202CA19
, 4F202CA27
, 4F202CB01
, 4F202CD23
, 4F202CD26
, 4F202CD30
, 4F202CK43
, 4F209AA33
, 4F209AA45
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AJ03
, 4F209AJ06
, 4F209AJ09
, 4F209AJ11
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
引用特許:
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