感光性組成物および加工基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-275965
公開番号（公開出願番号）：特開2010-100785
出願日： 2008年10月27日
公開日（公表日）： 2010年05月06日
要約：

【課題】低粘度で、耐熱性および力学的強度に優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】下記条件を満たす官能基Xを1個以上有する重合性モノマー(A)を0.01〜98質量%、下記条件を満たす官能基Yを1個以上有し、かつ、官能基Xを有さない重合性モノマー(B)を0.01〜98質量%、光重合開始剤を0.01〜15質量%含有することを特徴とする感光性組成物。官能基X:特定露光条件で露光した時の反応率が50%以上であり、露光後、さらに、200°Cで30分間熱処理した後の反応率が80%以上である官能基である。官能基Y:特定露光条件で露光した時の反応率が50%未満であり、露光後、さらに、200°Cで30分間熱処理した時の反応率が80%以上である官能基である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記条件を満たす官能基Xを1個以上有する重合性モノマー(A)を0.01〜98質量%、下記条件を満たす官能基Yを1個以上有し、かつ、官能基Xを有さない重合性モノマー(B)を0.01〜98質量%、光重合開始剤を0.01〜15質量%含有することを特徴とする感光性組成物。官能基X:下記露光条件で露光した時の反応率が50%以上であり、露光後、さらに、200°Cで30分間熱処理した後の反応率が80%以上である官能基である。官能基Y:下記露光条件で露光した時の反応率が50%未満であり、露光後、さらに、200°Cで30分間熱処理した時の反応率が80%以上である官能基である。露光条件:重合性官能基として、1種類の官能基のみを有する重合性モノマー100質量部に対して、光重合開始剤として2、2-ジメトキシ-1、2ジフェニルエタン-1-オンを5質量部添加した組成物をガラス基板上に乾燥膜厚が6μmになるように塗布した塗膜を窒素パージした状態で高圧水銀灯で100mJ/cm2の条件で露光する。

IPC (6件)：

C08F 2/50 , C08F 216/12 , C08F 218/12 , C08F 218/16 , C08F 238/00 , C08F 220/20

FI (6件)：

C08F2/50 , C08F216/12 , C08F218/12 , C08F218/16 , C08F238/00 , C08F220/20

Fターム (42件)：

4J011QA03 , 4J011QA08 , 4J011QA20 , 4J011QA22 , 4J011QA24 , 4J011QA26 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA51 , 4J011SA61 , 4J011SA64 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA84 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J011XA02 , 4J100AE09Q , 4J100AE69Q , 4J100AE77Q , 4J100AG08Q , 4J100AG63Q , 4J100AG64Q , 4J100AL63P , 4J100AL74P , 4J100AL92Q , 4J100AT08Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BC04Q , 4J100BC43Q , 4J100BC53Q , 4J100BC54Q , 4J100JA37 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (4件)

米国特許第5772905号公報
米国特許第5956216号公報
米国特許第5259926号公報

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