特許
J-GLOBAL ID：201003092285064935
磁気デバイス検査装置および磁気デバイス検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-185839
公開番号（公開出願番号）：特開2010-175534
出願日： 2009年08月10日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】組立て前の磁気ヘッドを、非破壊、非接触で、かつ、高い分解能をもって、全数検査可能なスピードで検査をする。【解決手段】試料5である磁気ヘッドに交流電流を印加することによって試料5から交流磁界を発生させる。試料5に磁性体の探針2または磁性体を塗布した探針2を持つカンチレバー1を近づけることによって、カンチレバー1が変位する。カンチレバー1の変位を検出することによって試料5からの磁界分布を検出する。試料5に印加する交流電流の周波数を、カンチレバー1の共振周波数とは異なる周波数とすることによって高速に試料5から発生する磁界分布を測定することが出来る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料より発生する磁界を検出する磁気デバイス検査装置であって、
磁性体探針または磁性体を塗布した探針を持つカンチレバーと、
前記試料を保持する試料台と、
前記カンチレバー先端の変位を観測する変位検出手段と、
前記探針を前記試料に対して接近と退避、移動の各動作を繰り返すことが可能な手段と、
前記カンチレバー先端の変位を検出する手段を備え、
前記試料を前記カンチレバーの共振周波数と異なる周波数の交流電流で励磁し、前記試料から発生する磁界分布を測定することを特徴とする磁気デバイス検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/22 101
, G01N13/10 J
