特許

J-GLOBAL ID：201003092769460193

成膜装置用部品および該成膜装置用部品に付着した付着膜の除去方法

発明者： 魚田 省記 ,  安丸 純一 ,  上口 昭人
出願人/特許権者： 関西熱化学株式会社 ,  株式会社ケイエヌラボアナリシス
代理人 (4件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-075174
公開番号（公開出願番号）：特開2010-229434
出願日： 2009年03月25日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：

【課題】形成された付着膜を容易に除去することができる成膜装置用部品を提供する。また、成膜装置用部品に形成された付着膜を効率よく除去することができる付着膜の除去方法を提供する。【解決手段】本発明の成膜装置用部品は、基材と、前記基材に形成されたプレコート層と、前記プレコート層上に形成された多孔質溶射層を有する成膜装置用部品であって、前記プレコート層が、水性無機コーティング剤から形成されたものであり、前記基材の線熱膨張率(α1)と前記プレコート層の線熱膨張率(α2)との差(│α1-α2│)が18×10-6/°C以下であることを特徴とする。 また、本発明の付着膜の除去方法は、付着膜形成後に、水および/または水蒸気によりプレコート層を処理した後、付着膜を除去することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材と、前記基材に形成されたプレコート層と、前記プレコート層上に形成された多孔質溶射層を有する成膜装置用部品であって、 前記プレコート層が、水性無機コーティング剤から形成されたものであり、前記基材の線熱膨張率(α1)と前記プレコート層の線熱膨張率(α2)との差(│α1-α2│)が18×10-6/°C以下であることを特徴とする成膜装置用部品。

IPC (2件)：

C23C 28/00 ,  C23C 14/00

FI (2件)：

C23C28/00 B ,  C23C14/00 B

Fターム (16件)：

4K029DA09 ,  4K029FA09 ,  4K044AA01 ,  4K044AA13 ,  4K044AB10 ,  4K044BA02 ,  4K044BA06 ,  4K044BA10 ,  4K044BA13 ,  4K044BA14 ,  4K044BB03 ,  4K044BB13 ,  4K044BC02 ,  4K044BC06 ,  4K044CA11 ,  4K044CA22