特許

J-GLOBAL ID：201003094741868971

光インプリント用硬化性組成物およびそれを用いた硬化物の製造方法

発明者： 米澤 裕之 ,  高柳 丘 ,  崎田 享平
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-273510
公開番号（公開出願番号）：特開2010-157706
出願日： 2009年12月01日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：

【課題】パターン精度に優れた、新規な光硬化性に優れたインプリント用硬化性組成物を提供する。【解決手段】(A)光重合性単量体と、(B)光重合開始剤とを含む光インプリント用硬化性組成物であって、全成分に占める、分子量190以下の化合物の割合が20質量%以下であり、組成物の粘度が25°Cで3〜50mPa・sであることを特徴とする組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)光重合性単量体と、(B)光重合開始剤とを含む光インプリント用硬化性組成物であって、全成分に占める、分子量190以下の化合物の割合が20質量%以下であり、組成物の粘度が25°Cで3〜50mPa・sであることを特徴とする組成物。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  C08F 2/50 ,  B29C 59/02

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  C08F2/50 ,  B29C59/02 Z

Fターム (27件)：

4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AB03 ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J011AA05 ,  4J011PA66 ,  4J011PA99 ,  4J011PB24 ,  4J011PB40 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB24 ,  4J011SA14 ,  4J011SA22 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  5F046AA28