表面改質装置および表面改質方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人暁合同特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-130292
公開番号（公開出願番号）：特開2010-275601
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】表面改質ガス中の、改質化合物の混合比率を容易に制御できる表面改質装置および表面改質方法を提供する。【解決手段】本発明の表面改質装置10は、金属原子、半金属原子、または非金属原子、及び有機基を有し固体物質Sの表面を改質する改質化合物を収容するとともに、改質化合物を液体状態から気体状態に気化する気化室12と、液体状態の改質化合物が含まれる気化室12の液相13中に、燃焼性のガスをバブリングして導入するガス導入部16と、気体状態の改質化合物と燃焼性のガスとを含む表面改質ガス、及び酸素を含むガスを混合して燃料ガスとする混合室18と、気化室12から表面改質ガスを混合室18に移送する移送部17と、混合室18に接続され燃料ガスの火炎を固体物質Sの表面に吹付ける噴射部19と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属原子、半金属原子、または非金属原子、及び有機基を有し固体物質の表面を改質する改質化合物を収容するとともに、前記改質化合物を液体状態から気体状態に気化する気化室と、液体状態の前記改質化合物が含まれる液相中に、燃焼性のガスをバブリングして導入するガス導入部と、気体状態の前記改質化合物と前記燃焼性のガスとを含む表面改質ガス、及び酸素を含むガスを混合して燃料ガスとする混合室と、前記気化室から前記表面改質ガスを前記混合室に移送する移送部と、前記混合室に接続され前記燃料ガスの火炎を前記固体物質の表面に吹付ける噴射部と、を備える表面改質装置。

IPC (1件)：

C23C 26/00

FI (1件)：

C23C26/00 Z

Fターム (13件)：

4K044AA01 , 4K044AA11 , 4K044AA13 , 4K044AA16 , 4K044AB02 , 4K044AB03 , 4K044BA11 , 4K044BA18 , 4K044BA19 , 4K044BC04 , 4K044CA41 , 4K044CA53 , 4K044CA71

引用特許：

出願人引用 (5件)

蒸着法
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-514147 出願人：ピルキントングループリミテッド
固体物質の表面改質装置およびそれを用いた表面改質方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-225507 出願人：株式会社イトロ技術研究所
水圧転写方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-362814 出願人：大日本印刷株式会社

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