特許

J-GLOBAL ID：201003096903534285

赤外顕微鏡

発明者： 渡辺 雄二
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-126660
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276371
出願日： 2009年05月26日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】試料上で注目領域に存在する目的物質を高い信頼度で同定する。【解決手段】測定者は可視光による試料の表面観察画像を画面上で確認し、注目領域を選択指示する(S4)。すると、注目領域に含まれる測定点において測定された赤外吸収スペクトルに現れる吸収ピークが抽出され(S5)、吸収ピーク毎にそのピークが観測される測定点の2次元分布が取得される(S6)。そのあと、各ピークの2次元分布毎に注目領域との分布の相関係数が計算される(S7)。そして、注目領域内の各測定点における赤外吸収スペクトル中の各吸収ピークに対し相関係数に応じた重み付けを行った上で、該スペクトルと既知物質のスペクトルとのマッチングを実施して、各測定点に存在する物質を同定する(S8)。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

試料に赤外干渉光を照射し、該試料からの透過光又は反射光を検出して試料上の測定領域における赤外吸収スペクトルを測定する赤外顕微鏡において、 a)試料に可視光を照射し、該試料による透過光又は反射光に基づいて試料観察画像を作成するとともに、該試料観察画像に基づいて目的物質が存在すると推測される注目領域を決定する注目領域決定手段と、 b)試料上の2次元領域内に設定された複数の微小領域にそれぞれ赤外干渉光を照射し、各微小領域における赤外吸収スペクトルを測定する2次元領域スペクトル測定手段と、 c)各微小領域における赤外吸収スペクトルに現れる吸収ピークについて、該吸収ピーク毎にピーク強度が所定の閾値以上であるような微小領域を抽出して2次元分布を求める特定ピーク分布抽出手段と、 d)前記注目領域決定手段により決定された注目領域に含まれる微小領域の赤外吸収スペクトルが持つ各吸収ピークについて、前記特定ピーク分布抽出手段で得られたその吸収ピークにおける微小領域の2次元分布とその注目領域の微小領域の2次元分布との相関を示す指標を計算し、該指標を吸収ピークに対応付けて記憶する分布相関取得手段と、 e)各種の既知物質の赤外吸収スペクトルを予め記憶しておく標準スペクトル記憶手段と、 f)前記分布相関取得手段により得られた指標を用いた重み付けを各吸収ピークについて行いつつ、前記標準スペクトル記憶手段に記憶されている既知物質の赤外吸光スペクトルと前記注目領域に含まれる微小領域における赤外吸収スペクトルとの比較を行うことにより、前記注目領域内の各微小領域に存在する物質を同定する注目領域内物質同定手段と、 を備えることを特徴とする赤外顕微鏡。

IPC (1件)：

G01N 21/35

FI (1件)：

G01N21/35 Z

Fターム (43件)：

2G051AA05 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051BA06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC06 ,  2G051ED04 ,  2G051ED11 ,  2G051FA01 ,  2G059AA01 ,  2G059BB08 ,  2G059BB11 ,  2G059BB15 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059EE13 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM04 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04