特許
J-GLOBAL ID：201003097317191359
軟X線分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-002068
公開番号（公開出願番号）：特開2010-160034
出願日： 2009年01月07日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：
【課題】 試料から軟X線分光装置に向う軟X線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟X線の強度を高めた軟X線分光装置を提供する。【解決手段】 入射する軟X線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置おいて、回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟X線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
入射する軟X線を回折する回折格子と、前記回折格子によって回折された軟X線を検出する検出器とを備える軟X線分光装置であって、
前記回折格子に入射する軟X線の中心光線を挟み、前記回折格子に垂直で前記中心光線を含む平面に平行かつ前記中心光線に垂直な方向の曲率が0の一対のミラーを備えることを特徴とする軟X線分光装置。
IPC (2件)：
G01N 23/223
, G01N 23/225
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001EA02
, 2G001EA07
, 2G001EA20
, 2G001GA07
, 2G001KA13
, 2G001NA01
, 2G020AA06
, 2G020BA20
, 2G020CA01
, 2G020CB45
, 2G020CC02
, 2G020CC63
, 2G020CD24
