特許
J-GLOBAL ID:201003099535102395
部品供給装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-191377
公開番号(公開出願番号):特開2010-028064
出願日: 2008年07月24日
公開日(公表日): 2010年02月04日
要約:
【課題】ウェハリングをマガジン内の空いているスロットに確実に戻す。【解決手段】ウェハリング1に保持されているウェハを収容するマガジン10を搭載するマガジン搭載台20と、該マガジン搭載台を上下方向に移動させるマガジン昇降機構22と、該昇降機構により所定高さに位置決めされたマガジン内のスロット12から、支持されているウェハリング1を取出す取出口42Aと、該取出口からマガジン内に把持具を挿入し、該把持具で対応する位置に支持されているウェハリング1を把持して引き出すウェハ取出機構を備えた部品供給装置において、上方又は下方に移動される前記マガジン10内の各スロット12に支持されているウェハリング1の有無を検知するセンサ56が所定高さ位置に設置され、前記マガジン搭載台20を上昇又は下降させた際の、センサによる検知信号と各スロット位置とを対応付けたマガジン内のウェハ有無情報を保存する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
対向する内部壁に、それぞれ上下方向の対応する位置に所定の間隔で形成された、前後方向に延びる溝部からなる複数段のスロットに、ウェハリングの対向両端部をそれぞれ支持させ、該ウェハリングに保持されているウェハを収容するマガジンを搭載するマガジン搭載台と、
該マガジン搭載台を上下方向に移動させるマガジン昇降機構と、
該昇降機構により所定高さに位置決めされたマガジン内のスロットから、支持されているウェハリングを取出す取出口と、
該取出口からマガジン内に把持具を挿入し、該把持具で対応する位置に支持されているウェハリングを把持して引き出すウェハ取出機構を備えた部品供給装置において、
前記マガジン昇降機構により上方又は下方に移動される前記マガジン内の各スロットに支持されているウェハリングの有無を検知するセンサが所定高さ位置に設置されていると共に、
前記マガジン搭載台を上昇又は下降させた際の、前記センサによる検知信号と各スロット位置とを対応付けたマガジン内のウェハ有無情報を保存する保存手段を備えたことを特徴とする部品供給装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H05K13/02 D
, H01L21/68 T
Fターム (27件):
5E313AA03
, 5E313AA23
, 5E313DD01
, 5E313DD02
, 5E313DD03
, 5E313DD07
, 5E313DD14
, 5E313DD22
, 5E313DD23
, 5E313FF01
, 5E313FF06
, 5F031CA02
, 5F031CA13
, 5F031DA01
, 5F031DA13
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031GA18
, 5F031GA22
, 5F031GA23
, 5F031GA36
, 5F031HA78
, 5F031JA06
, 5F031JA14
, 5F031JA22
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
電子部品実装装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-279953
出願人:松下電器産業株式会社
審査官引用 (2件)
-
部品供給装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-014628
出願人:松下電器産業株式会社
-
トレイ供給装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-085986
出願人:山形カシオ株式会社
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