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J-GLOBAL ID:201006055987205071
交互位相シフトマスク
主題カテゴリー:
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用語の主な分野です
電子素子
関連語 (2件):
フォトリソグラフィー
(photolithography)
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位相シフト
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上位語 (1件):
フォトマスク
(photomask)
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