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J-GLOBAL ID：201006076800683185

微細補助パターン

電子素子
同義語 (2件)：

サブ分解能支援パターン (sub-resolution assist feature)
サブ分解能支援パターンについて
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SRAF
SRAF について
- 「SRAF」ですべてを検索

関連語 (2件)：

パターン形成 (pattern formation)
パターン形成について
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超解像 (superresolution)
超解像について
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上位語 (1件)：

フォトリソグラフィー (photolithography)
フォトリソグラフィーについて
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