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J-GLOBAL ID：201006098537932420
極端紫外線リソグラフィー
主題カテゴリー：
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用語の主な分野です
電子素子
同義語 (2件)：
EUVL
EUVL について
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EUVL
(extreme ultraviolet lithography)
EUVL について
「EUVL」ですべてを検索
関連語 (1件)：
極端紫外線
(extreme ultraviolet ray)
極端紫外線 について
「極端紫外線」ですべてを検索
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上位語 (1件)：
フォトリソグラフィー
(photolithography)
フォトリソグラフィー について
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