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J-GLOBAL ID：201009042818281792   JST資料番号 (フル)：E0974ABV   JST資料番号：E0974A

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena

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E0974A
ISSN (2件)： 2166-2746 ,  1071-1023
CODEN (1件)： JVTBD9
資料内容種別：一般記事, メタデータのみ, 隔月(年6回)
刊行頻度： 隔月(年6回)
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)： 英語(EN)
JST資料分類 (3件)： 物質の構造、放射線物理 (BK) ,  物理学一般・基礎 (BA) ,  電子工学 (NC)
編集団体名 (1件)： AVS
出版団体名： AIP Publ.
出版地：Melville, N.Y.
会議 (17件)：
  • International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, 56th, Waikoloa, Hawaii, 20120529 - 20120601
  • North American Conference on Molecular Beam Epitaxy, 28th, La Jolla, Calif., 20110814 - 20110817
  • International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication, 55th, Las Vegas, Nev., 20110531 - 20110603
  • Conference on the Physics and Chemistry of Surfaces and Interfaces, 38th, San Diego, Calif., 20110116 - 20110120
  • North American Molecular Beam Epitaxy Conference, 27th, Breckenridge, Colo.
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前資料名 (1件)：
  • Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
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