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J-GLOBAL ID：201102100682035743   整理番号：11A0248152

窒化シリコンのマイクロメカニカル解析:破壊力学およびRamanマイクロプローブ分光法による比較研究

Micromechanical analysis of silicon nitride: a comparative study by fracture mechanics and Raman microprobe spectroscopy

著者 (2件)： TOCHINO S ,  PEZZOTTI G
資料名： JOURNAL OF RAMAN SPECTROSCOPY
巻： 33  号： 9  ページ： 709-+  発行年： 2002年 
JST資料番号： O4086A  ISSN： 0377-0486  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 窒化シリコン ,  メカニカル解析 ,  破壊力学 ,  Ramanマイクロプローブ ,  分光法 ,  研究