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J-GLOBAL ID：201102114260063737   整理番号：11A0339558

光学素子用表面プロファイラの開発

Development of a surface profiler for optical elements

著者 (10件)： KINOSHITA T ,  FUKUI K ,  ASAKA S ,  YOSHIDA H ,  WATANABE M ,  HORIGOME T ,  MA Pj ,  OHTSUKA K ,  IWANAGA M ,  OHSHIMA E
資料名： NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT
巻： 467  ページ： 329-332  発行年： 2001年 
JST資料番号： O5032A  ISSN： 0168-9002  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光学素子 ,  プロファイラ ,  開発