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J-GLOBAL ID：201102158367696268   整理番号：11A0084085

組成変調多層の固相反応によるナノ構造薄膜の作成および構造制御

Fabrication and structural control of nano-structured thin films by solid-state reaction of compositionally modulated multilayers

著者 (4件)： MATSUI T ,  TSUDA H ,  MABUCHI H ,  MORII K
資料名： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
巻： 237  ページ： 1946-1950  発行年： 2002年 
JST資料番号： O3553A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： 組成 ,  変調 ,  多層 ,  固相反応 ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  構造制御