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J-GLOBAL ID：201102162430734555   整理番号：11A0394766

3次元連続動作を実現させる新たなコムアクチュエータの設計、製造および実験

Design, fabrication and testing of new comb actuators realizing three-dimensional continuous motions

著者 (3件)： ANDO Y ,  IKEHARA T ,  MATSUMOTO S
資料名： SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
巻： 97-8  ページ： 579-586  発行年： 2002年 
JST資料番号： O6065A  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3次元 ,  連続動作 ,  コム ,  アクチュエータ ,  設計 ,  実験