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J-GLOBAL ID：201102195590543603   整理番号：11A0436981

塩化インジウム(III)と塩化スズ(II)のエタノール溶液を用いたスプレーCVDによって作製した導電性の高いインジウム-スズ-酸化物の透明膜

Highly-conducting indium-tin-oxide transparent films fabricated by spray CVD using ethanol solution of indium (III) chloride and tin (II) chloride

著者 (4件)： SAWADA Y ,  KOBAYASHI C ,  SEKI S ,  FUNAKUBO H
資料名： THIN SOLID FILMS
巻： 409  号： 1  ページ： 46-50  発行年： 2002年 
JST資料番号： O6387A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (10件)： 塩化インジウム ,  塩化スズ ,  エタノール溶液 ,  スプレーCVD ,  作製 ,  導電性 ,  インジウム ,  スズ ,  酸化物 ,  透明膜