HURAN Jozef について
Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sci., Bratislava, SVK について
BOHACEK Pavol について
Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sci., Bratislava, SVK について
SHVETSOV Valery N. について
Joint Inst. for Nuclear Res., Dubna, RUS について
KOBZEV Alexander P. について
Joint Inst. for Nuclear Res., Dubna, RUS について
VALOVIC Albin について
Inst. of Electrical Engineering, Slovak Acad. of Sci., Bratislava, SVK について
プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM) について
プラズマCVD について
薄膜成長 について
窒化物 について
薄膜 について
混合気体 について
シラン について
アンモニア について
濃度測定 について
化学組成 について
赤外分光法 について
偏光解析法 について
電流電圧特性 について
炭化物 について
ケイ素化合物 について
Rutherford散乱分光法 について
光ルミネセンス について
アルカン について
PECVD について
水素濃度 について
その他の無機化合物の薄膜 について
PECVD について
製作 について
シリコン について
カーボン について
窒化物 について
薄膜 について