文献

J-GLOBAL ID：201102201496464430   整理番号：11A0281449

低コヒーレンス干渉法と共焦点光学系による透明プレートの屈折率と膜厚の高速同時測定

High-speed simultaneous measurement of refractive index and thickness of transparent plates by low-coherence interferometry and confocal optics

著者 (5件)： OHMI M ,  NISHI H ,  KONISHI Y ,  YAMADA Y ,  HARUNA M
資料名： MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY
巻： 15  号： 8  ページ： 1531-1535  発行年： 2004年 
JST資料番号： O4562A  ISSN： 0957-0233  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (7件)： コヒーレンス ,  干渉法 ,  共焦点 ,  光学系 ,  屈折率 ,  膜厚 ,  同時測定