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J-GLOBAL ID：201102202307545677   整理番号：11A1138800

希土類元素複合材料膜の調製とミクロ摩擦挙動

Preparation and Micro-friction Behavior of Rare Earth Composite Film

著者 (2件)： Gao Wanru (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai) ,  Cheng Xianhua (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai)
資料名： Gongneng Gaofenzi Xuebao  (Gongneng Gaofenzi Xuebao)
巻： 23  号： 2  ページ： 133-137  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2094A  ISSN： 1008-9357  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MPTS-RE複合材料膜を自己集合プロセスにより単結晶シリコン基板に調製した。膜の接触角及び化学組成を接触角測定とX線光電子分光法(XPS)により分析し,表面モルホロジーとトライポロジー特性を原子間力顕微鏡(AFM)により評価した。その結果,スルホン化MPTS膜に希土類元素(RE)がうまく析出しているのを確認した。プローブと膜間の摩擦力は走査速度及び荷重増加により増加し,接着力は相対湿度増加により向上した。MPTS-RE複合材料膜は低い定常摩擦係数と接着力を有した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 希土類元素 ,  *複合膜 ,  摩擦 ,  調製 ,  自己集合 ,  ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  接触角 ,  化学組成 ,  表面構造 ,  トライボロジー
準シソーラス用語： *複合材料膜 ,  単結晶シリコン ,  シリコン基板 ,  表面モルホロジー

分類 (1件)： 化学一般その他  (CA01060X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 希土類元素 ,  複合材料膜 ,  調製 ,  摩擦 ,  挙動