文献

J-GLOBAL ID：201102202514026175   整理番号：11A0550726

レーザを活用したガラスの新しい高速割断技術に関する研究

著者 (2件)： 森田英俊 (佐世保工高専) ,  原要一郎 (佐世保工高専)
資料名： 佐世保工業高等専門学校研究報告  (Research Reports of Sasebo College of Technology)
号： 47  ページ： 9-14  発行年： 2011年01月11日 
JST資料番号： G0825A  ISSN： 0386-4391  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の需要拡大に伴い,ガラスを高速割断する方法として材料表面に焦点形状が楕円のレーザを照射,その直後にウオータージェットノズルから放出される冷却水によって急冷し,急激な温度差による熱応力を利用してガラス端面に設けた初期亀裂を深さとレーザ進行方向に誘導させ,材料表面に浅いスクライブ線を発生させた後,機械的に曲げ応力を作用させて分断する方法が実用化されている。しかし,この方法では,レーザ加熱形状を楕円にする必要があり,材料特性などの加工条件に合わせて焦点形状を変えることが困難であるという欠点がある。そこで本研究では,焦点形状が円のレーザを用いる2点加熱方法により,ガラスのレーザスクライブ加工を行う新しい方法を提案した。最適条件(レーザ出力,スクライブ加工速度,レーザ2点間距離,冷却水量,冷却位置など)の検討および熱弾性解析を行い,その優位性の検証を行った。

シソーラス用語： *ガラス ,  *切断 ,  *レーザ加工 ,  レーザ照射 ,  *レーザ加熱 ,  急冷 ,  *熱応力 ,  亀裂 ,  *罫書き ,  曲げ応力 ,  焦点 ,  円形
準シソーラス用語： スクライビング ,  *レーザスクライブ加工 ,  割断法

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  活用 ,  ガラス ,  研究