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J-GLOBAL ID：201102203387528146   整理番号：11A0138855

対称形圧電プッシャー素子を用いた高動力眼球型マイクロアクチュエータの設計と作製

Design and Fabrication of a High-Power Eyeball-Like Microactuator Using a Symmetric Piezoelectric Pusher Element

著者 (2件)： SHEN Sheng-Chih (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN) ,  HUANG Juin-Cherng (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 19  号： 6  ページ： 1470-1476  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 対称形圧電プレートとNi-Co合金マイクロプッシャー(超小型推進器)素子を用いて,新規の多自由度(MDOF)眼球型マイクロアクチュエータを開発した。約550の硬度値を有する革新的Ni-Co合金マイクロプッシャーを設計し,対称形圧電プッシャー素子(SPPE)を構築するため,2電極をもつ圧電プレートの長い側の中点に接着した。この研究には,LEGOブリックの概念を統合し,MDOF運動プラットフォームの20.32倍の体積である,球形回転子を回転可能である高動力MDOF運動プラットフォームを開発するため,異なる3振動モードを設計し,MDOF眼球型マイクロアクチュエータの開発に応用した。このMODF眼球型マイクロアクチュエータは,2相互直交セットの並列SPPEから作製した,固定子と球形電荷結合素子(CCD)である回転子からなる。シミュレーションと測定結果から,SPPEの最適サイズは16:8:1(長さ:幅:厚さ)の比であることを示した。このマイクロアクチュエータの特性を測定した結果,X,YとZ軸方向に沿った350gの球形回転子の回転のための駆動周波数は各々,223.4,223.2と225kHzであり,30V_ppの駆動電圧でX,YとZ軸に沿った球形回転子の時計方向回転速度は各々,50,52と180rpmであることがわかった。以上の結果から,眼球型マイクロアクチュエータの開発に成功したことを示した。

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,  *眼球 ,  *自由度 ,  *MEMS ,  *圧電体 ,  ニッケル合金 ,  銅含有合金 ,  *マイクロマシニング ,  押込硬さ ,  対称性 ,  振動モード ,  電荷結合素子 ,  回転子 ,  固定子 ,  回転数 ,  太陽追尾
準シソーラス用語： 多自由度 ,  圧電アクチュエータ ,  LIGA ,  Vickers硬さ

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (9件)： 対称形 ,  圧電 ,  プッシャー ,  動力 ,  眼 ,  球型 ,  マイクロアクチュエータ ,  設計 ,  作製