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J-GLOBAL ID：201102205473564280   整理番号：11A0919053

精度浮上段のインプレーンモーションの測定アラインメント誤差分析

Measurement Alignment Error Analysis for In-Plane Motion of a Precision Levitation Stage

著者 (2件)： Wu Hongliang (Theory of Lubrication and Bearing Inst.,Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, Xi’an) ,  MAO Junhong (Theory of Lubrication and Bearing Inst.,Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, Xi’an)
資料名： Xi’an Jiaotong Daxue Xuebao  (Xi'an Jiaotong Daxue Xuebao)
巻： 44  号： 1  ページ： 51-55  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0363A  ISSN： 0253-987X  CODEN： HCTPDW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 6-DOF精度浮上段の運動模型を非接触アクチュエータやベアリングの代わりに自在継手,伸縮レッグ,平面関節から成る当量チェーンで開発した。移動プラットフォームインプレーンモーションはそのアウトオブプレーンモーションから独立しているが,回転変位は小さく,運動学的特性は伸縮可能レッグがベース表面と直角に交わらなければ変化しないので,この段の精度は主に測定システム精度により決まる。Eulerの回転定理に基き,精度浮上段のインプレーンモーション用3次元測定アラインメント誤差モデルはL型鏡とレーザビームの2交差点の距離を計算して導き出し,測定誤差へのアラインメント誤差の影響歯誤差分布と誤差源へのそれらの感度を計算し分析した。これらの結果は,アウトオブプレーンアラインメント誤差の感度は,前の二次元分析では無視されていたが,インプレーンアラインメント誤差の感度の25%に到達している可能性があり,最も重要な誤差源は,z軸の周りの回転とその直交誤差により生じたL型鏡アラインメント誤差を含んでいることを証明した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *誤差解析 ,  アラインメント ,  精度 ,  計測 ,  計算機システム ,  アクチュエータ ,  計測システム ,  レーザビーム ,  軸受
準シソーラス用語： *誤差分析 ,  測定 ,  プラットフォーム【計算機】 ,  測定システム ,  ベアリング

分類 (1件)： 数値計算  (JE02000J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 浮上 ,  アラインメント ,  誤差分析