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J-GLOBAL ID：201102206198033780   整理番号：11A1374026

半導体製品製造環境におけるイオン化合物の高感度な固相能動サンプラーを用いえる短時間での評価

BRIEF EVALUATION OF IONIC COMPOUNDS IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING ENVIRONMENT USIONG HIGHLY SENSITIVE SOLID PHASE ACTIVE SAMPLAR

著者 (7件)： SHIMADA Itsuka (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  MORIYA Satoru (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  SHIMIZU Mari (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  ISHIWATA Yuko (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  MURAKAMI Masashi (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  NONAKA Tatsuo (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN) ,  FUJIMOTO Taketoshi (Sumika Chemical Analysis Serv., Ltd., Chiba, JPN)
資料名： Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo  (Proceedings of International Symposium on Contamination Control 2010, Tokyo)
ページ： 414-418  発行年： 2010年 
JST資料番号： M20110004  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *クリーンルーム ,  製造 ,  *試料採取器 ,  *塩 ,  *アンモニウムイオン ,  迅速分析
準シソーラス用語： *イオン化合物 ,  インダストリアルクリーンルーム ,  サンプラ ,  半導体製造

分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 製品製造 ,  環境 ,  イオン ,  高感度 ,  固相 ,  サンプラー ,  評価