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J-GLOBAL ID:201102207223183330   整理番号:11A0527596

電子デバイス用ポリアミド薄膜の引張特性

Tensile Properties of Polyamide Thin Films for Electronic Devices
著者 (6件):
資料名:
巻: 60  号:ページ: 167-173 (J-STAGE)  発行年: 2011年 
JST資料番号: F0385A  ISSN: 0514-5163  CODEN: ZARYA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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電子デバイスの絶縁層に用いられる全芳香族ポリイミド薄膜の引張特性を検討した。フィラーの含有量を変えた4種類のポリアミド薄膜試験片を用いて引張試験を行い,ヤング率,比例限度,降伏応力,引張強度,および破断伸びに及ぼすフィラー含有量の影響を調べた。さらに,引張特性および熱膨張係数の点からポリアミド樹脂薄膜の最適フィラー含有量を検討した。
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分類 (1件):
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固体デバイス材料 
引用文献 (17件):
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