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J-GLOBAL ID：201102209545124889   整理番号：11A0886027

シリコン中の’オンデマンド’固体浸漬レンズ用のケミストリアシスト集束イオンビームプロセスの開発

Developing a Chemisty-Assisted Focused Ion Beam Process for ‘On-Demand’ Solid Immersion Lenses in Silicon

著者 (5件)： SCHOLZ P. (Berlin Univ. Technol., Berlin, DEU) ,  KERST U. (Berlin Univ. Technol., Berlin, DEU) ,  BOIT C. (Berlin Univ. Technol., Berlin, DEU) ,  KUJAWA T. (DCG Systems, CA, USA) ,  LUNDQUIST T. (DCG Systems, CA, USA)
資料名： Conference Proceedings from the International Symposium for Testing and Failure Analysis  (Conference Proceedings from the International Symposium for Testing and Failure Analysis)
巻： 36th  ページ： 389-392  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0658B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最新の固体浸漬レンズ(SIL)顕微鏡法は,集積回路の光学的解析の分解能や信号収集問題を解決する。本稿では,通常の集束イオンビーム(FIB)スパッタリングの限界を,ヨウ素系ケミストリアシストを使って優れた性能を持つSIL法について報告した。ヨウ素系ケミカルアシストにより,FIBのマイクロマシニング性能を向上させることができた。この方法は,SIL形状をより理想的形状に近づけることができる。この方法で形成したSILのレンズ径は50μmで,従来法の2.5倍となった。分解能は370nm幅となった。

シソーラス用語： レンズ ,  *集束イオンビーム ,  *超LSI ,  故障解析 ,  高分解能 ,  マイクロマシニング ,  ヨウ素
準シソーラス用語： *固体浸漬レンズ

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  オンデマンド ,  固体浸漬レンズ ,  集束イオンビーム ,  プロセス ,  開発