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J-GLOBAL ID：201102210969847811   整理番号：11A1144293

高精度変位センサに基づく防振プラットホーム

Vibration isolation platform base on high accurate displacement sensors

著者 (3件)： Ning Dayong (Changchun Inst. of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sciences, Changchun) ,  Gao Yunguo (Changchun Inst. of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Acad. of Sciences, Changchun) ,  Liu Xifeng (Dalian Inst. of Education, Dalian)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 18  号： 3  ページ： 646-652  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高精度光学機械の動作を保つために,防振プラットホームを設計した。計測装置として10nm精度の変位センサを利用することで,変位センサでスプリングの長さ変化を測定し,支持バネの力を計算し,スプリングの交換力に従い電磁石アクチュエータ力を調整し,高精度光学機械のバランスを保ち,ベース振動を絶縁した。理論とシミュレーションの解析から,防振の要請を満たすことが分かった。同法は,マルチレベル防振に有効で,防振プラットホームに非依存であった。実験結果から,基礎の振動振幅が0.22,0.20,0.18,0.15mmである場合,防振プラットホームの振動振幅は1.6,1.4,1.2,1.0μmであった。提案方法が防振の必要条件を満たす。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： シミュレーション ,  アクチュエータ ,  ばね ,  *センサ ,  振動振幅 ,  必要条件 ,  台 ,  テーブル【機械要素】 ,  *防振 ,  *振動測定
準シソーラス用語： スプリング ,  プラットフォーム【機械】 ,  マルチレベル ,  実験結果 ,  *変位センサ

分類 (1件)： 振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 変位センサ ,  防振 ,  プラットホーム