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J-GLOBAL ID：201102212753227307   整理番号：11A1284520

マイクロツールで製造されたFresnel素子の超精密機械加工

Ultra-precision machining of Fresnel elements fabricated by micro tools

著者 (6件)： Zhang Xiaodong (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...) ,  Fang Fengzhou (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...) ,  Cheng Ying (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...) ,  Xu Zongwei (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...) ,  Zhang Shaojing (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...) ,  Wei Guishuang (Centre of MicroNano Manufacturing Technol., State Key Lab. of Precision Measuring Technology&Instruments, Tianjin ...)
資料名： Hongwai yu Jiguang Gongcheng  (Hongwai yu Jiguang Gongcheng)
巻： 39  号： 3  ページ： 502-505  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2521A  ISSN： 1007-2276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： Fresnel素子は,赤外センサなどの高性能システムの鍵素子であった。Fresnel素子の高効率な超精密製造法は,多くの研究者により注目されている。単一点ダイヤモンド切断を適用して,Fresnel素子を機械加工した。非加工領域領域を低減するために,Fresnel素子の切断製造ツールとして平坦超小型ツールを提案した。焦点イオンビーム(FIB)法によりマイクロツールを機械加工した。提案方法の鍵技術と製造プロセスを詳細に検討した。加工と試験の実験において,異なる応用のために二種類のFresnel素子を実現した。提案方法は,Fresnel素子の応用の要求条件を効率的に満たすことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 切削工具 ,  生産工程 ,  イオンビーム ,  赤外検出器 ,  機械工作 ,  精密機械 ,  生産方式 ,  *超精密加工 ,  *Fresnel回折 ,  *光学素子 ,  切断
準シソーラス用語： マイクロツール ,  機械加工 ,  製造法 ,  赤外センサ ,  超小型

分類 (3件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  光の散乱,回折,干渉  (BD03030M) ,  研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロツール ,  精密機械