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J-GLOBAL ID：201102213319271574   整理番号：11A1281816

バイオミメティック音圧勾配感応性構造の設計および微細加工

Design and Microfabrication of Biomimetic Acoustic Pressure Gradient Sensitive Structure

著者 (3件)： An Peng (Micro and Nano Electromechanical Systems Lab., Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an) ,  Yuan Weizheng (Micro and Nano Electromechanical Systems Lab., Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an) ,  Ren Sen (Micro and Nano Electromechanical Systems Lab., Northwestern Polytechnical Univ., Xi’an)
資料名： Chuangan Jishu Xuebao  (Chuangan Jishu Xuebao)
巻： 23  号： 6  ページ： 777-781  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2450A  ISSN： 1004-1699  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 捕食寄生蝿ormia ochraceaの方向聴覚原理を導入した。蝿の機械的連結鼓膜に示唆されて,新規MEMSバイオミメティック音圧勾配感応性構造を設計した。構造に作用する到来平面波の合成モーメントと音圧勾配構造パラメータの間関係を記述する解析式を導き出した。感応性構造の微細加工プロセスを,シリコンオンインシュレーター(SOI)ウエハに基づき提案した。また,重要製作段階のプロセスパラメータ(段階的フォトリソグラフィー,SOIウエハ-ガラス陽極接着,ハンドルウエハおよびウェットエッチングを用いる埋込み二酸化ケイ素除去)を決定した。製作結果により,3次元感応性構造を,バルク微小整合を用いて達成することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *微細加工 ,  圧力勾配 ,  感受性 ,  半導体プロセス ,  フォトリソグラフィー ,  プロセスパラメータ ,  エッチング ,  絶縁材料 ,  構造パラメータ ,  二酸化ケイ素 ,  モーメント ,  MEMS ,  *音圧 ,  ウェットエッチング ,  絶縁体
準シソーラス用語： インシュレーター ,  シリコンオンインシュレータ ,  圧勾配 ,  感応性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧勾配 ,  感応性 ,  設計 ,  微細加工