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J-GLOBAL ID:201102213404376857   整理番号:11A0102349

(001)テクスチャを持つL10秩序化FePt膜のX線回折による構造特性化

Structural characterization for L10-ordered FePt films with (001) texture by x-ray diffraction
著者 (4件):
資料名:
巻: 108  号: 11  ページ: 113923  発行年: 2010年12月01日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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エピタキシャル成長及び非エピタキシャル法により作製した[001]配向したL10秩序化FePt膜のナノ構造を,X線回折プロファイルの当てはめにより特性化した。計算モデルに結晶粒間及び結晶粒内不規則性を考慮し,両方の膜に対して良好な当てはめ結果が得られた。長範囲規則度と膜厚の分布は結晶粒間の構造不規則性の一部であると考えた。表面法線に沿ったX線干渉の深さと格子間隔の揺らぎも考慮し,結晶粒内の構造不規則性を説明した。MgO(100)下部層上に成長させたエピタキシャルFePt膜は,蒸着温度が高くなると共に不規則なA1相から規則的L10相に徐々に変態した。5nmの薄い膜は長範囲規則度が比較的低く,格子間隔が変動した。これは初期成長層とMgO下部層の間の大きな不整合に起因した。一方,SiO2ドーピングと高速熱アニーリングにより作製した非エピタキシャルFePt膜では,長範囲規則度が分布しない高[001]配向L10結晶粒が,低い焼なまし温度における初期変態段階で得られ,昇温と共に膜表面に沿ってL10結晶粒が成長した。格子間隔の揺らぎは非エピタキシャル膜の結晶高さに無関係であったが,エピタキシャル膜における格子揺らぎや化学的不規則性などの構造不規則性は結晶の高さが低くなると共に増大した。(翻訳著者抄録)
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金属薄膜 
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