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J-GLOBAL ID：201102213609685321   整理番号：11A1138986

CVDダイヤモンド膜レーザ穴あけの温度場に関するFEM解析

FEM Analysis on the Temperature Field of CVD Diamond Film Laser Drilling

著者 (6件)： Wu Xiaojun (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Zuo Dunwen (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Xu Feng (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Wang Min (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  He Jiayuan (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing) ,  Yuan Jiajing (Coll. of Mechanical and Electrical Engineering, Nanjing Univ. of Aeronautics and Astronautics, Nanjing)
資料名： Guisuanyan Tongbao  (Guisuanyan Tongbao)
巻： 29  号： 1  ページ： 83-88  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2439A  ISSN： 1001-1625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVD)ダイヤモンド膜は,その一連の優れた特性に起因して,ハイテクの分野で明るい応用の最前線を有している。CVDダイヤモンド膜レーザ穴あけプロセスの温度場分布は,プロセスの間に生じるダイヤモンド黒鉛化に起因して他の材料と異なっている。その結果,熱場分布に関する研究がプロセスメカニズム及び穴あけパラメータの最適化の双方に関して大変重要性を有している。今報で,CVDダイヤモンドの黒鉛化を考慮した熱力学的モデルを最初に構築した。そのモデルに基づいて,FEMシミュレーション研究をレーザ穴あけCVDダイヤモンド膜について行なった。シミュレーションによって,温度場分布及びダイヤモンド黒鉛化の程度を報告した。加えて,レーザ穴あけの結果(パルス当たりの平均除去率及び黒鉛化深さ)とレーザ穴あけパラメータ(レーザエネルギー,パルス幅,繰り返し速度)の間関係を調べた。パルス当たりの平均除去率及び黒鉛化深さは,レーザエネルギーを重要因子として,レーザエネルギー,パルス幅,繰り返し速度の増加と共に増加することが判明した。シミュレーションの結果,穴あけパラメータをレーザエネルギー0.5~1.6J,パルス幅300~800ns,繰り返し速度30~60Hzに選択した場合に,小さな熱影響ゾーンと共に高い効率を得ることが可能なことが判明した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 化学蒸着 ,  薄膜 ,  *レーザ穴あけ ,  温度場 ,  黒鉛化 ,  シミュレーション ,  熱影響 ,  最適化
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  ダイヤモンド膜

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (5件)： CVD ,  ダイヤモンド膜 ,  レーザ穴あけ ,  温度場 ,  FEM解析