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J-GLOBAL ID:201102213822402945   整理番号:11A1458613

MTS-ZrCl4-CH4-H2からZrC - SiCの共析に関する熱力学的研究

Thermodynamic study on codeposition of ZrC-SiC from MTS-ZrCl4-CH4-H2
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巻: 46  号: 10  ページ: 1090-1095  発行年: 2010年10月 
JST資料番号: A1063A  ISSN: 0020-1685  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: ロシア (RUS)  言語: 英語 (EN)
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