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J-GLOBAL ID：201102213911684784   整理番号：11A1227787

0.5~10keVのAr⁺イオンビームによるCVDダイヤモンド被覆工具の先鋭化

Sharpening of CVD diamond coated tools by 0.5-10keV Ar⁺ ion beam

著者 (5件)： SATO Yoshiko ,  KAWAMURA Junki ,  NAGASE Takashi ,  PAHLOVY S.a. ,  MIYAMOTO Iwao
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 20  号： 7  ページ： 954-959  発行年： 2011年07月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVDダイヤモンド被覆炭化タングステン工具は,アルミニウムや銅合金などの軟質材料の切断や穴あけに使用されてきた。しかしながら,機械的な磨耗研磨法によって,サブμmレベルの鋭い先端を持つ工具を得るのは非常に難しい。したがって,ここでは,ダイヤモンド被覆炭化タングステン工具の切削エッジを鋭くするために,イオンビーム処理を適用した。その結果は,0.5~10keVのAr⁺イオンビーム処理によって,CVDダイヤモンド被覆ナイフの20~80nmレベルの先端幅を得るのが可能で,ナイフの先の先鋭化速度はイオンビームエネルギーに依存することを示す。すなわち,2.7×10²⁰イオン/cm²のイオン線量で1.0keVのAr⁺イオンにより処理したナイフのチップ幅は20nmになり,5.4×10¹⁹のイオン線量で10keVのAr⁺イオンにより処理したナイフのチップ幅は40nmになる。しかしながら,55°の初期の頂点角度のナイフの切削エッジに60~100°の範囲における頂点角度の面が形成され,0.5~10keVのイオンビームエネルギーを選ぶことによって面角度を制御できるのがわかった。さらに,その結果は,1.0~10keVのAr⁺イオンビームにより先鋭化したナイフと比較して,0.5keVのAr⁺イオンビームで機械加工した処理ナイフは非常に滑らかな傾斜と平坦な側面を持ち,切削エッジの小さな直線エッジ粗さも有することを示す。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド工具 ,  端部 ,  イオンビーム ,  イオンビーム加工 ,  エネルギー依存性 ,  加工性 ,  刃先角
準シソーラス用語： 先端

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： イオンビーム ,  CVDダイヤモンド ,  被覆工具 ,  先鋭化