抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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CVDダイヤモンド被覆炭化タングステン工具は,アルミニウムや銅合金などの軟質材料の切断や穴あけに使用されてきた。しかしながら,機械的な磨耗研磨法によって,サブμmレベルの鋭い先端を持つ工具を得るのは非常に難しい。したがって,ここでは,ダイヤモンド被覆炭化タングステン工具の切削エッジを鋭くするために,イオンビーム処理を適用した。その結果は,0.5~10keVのAr
+イオンビーム処理によって,CVDダイヤモンド被覆ナイフの20~80nmレベルの先端幅を得るのが可能で,ナイフの先の先鋭化速度はイオンビームエネルギーに依存することを示す。すなわち,2.7×10
20イオン/cm
2のイオン線量で1.0keVのAr
+イオンにより処理したナイフのチップ幅は20nmになり,5.4×10
19のイオン線量で10keVのAr
+イオンにより処理したナイフのチップ幅は40nmになる。しかしながら,55°の初期の頂点角度のナイフの切削エッジに60~100°の範囲における頂点角度の面が形成され,0.5~10keVのイオンビームエネルギーを選ぶことによって面角度を制御できるのがわかった。さらに,その結果は,1.0~10keVのAr
+イオンビームにより先鋭化したナイフと比較して,0.5keVのAr
+イオンビームで機械加工した処理ナイフは非常に滑らかな傾斜と平坦な側面を持ち,切削エッジの小さな直線エッジ粗さも有することを示す。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
