文献

J-GLOBAL ID：201102214171178215   整理番号：11A0115596

ナノフォトニクス用のダイヤモンド状炭素ナノ複合材料薄膜の作製と研究

Preparation and Investigation of Diamond Like Carbon Nanocomposite Thin Films for Nanophotonics

著者 (7件)： PANOSYAN Zh. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM) ,  GHARIBYAN A. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM) ,  SARGSYAN A. (National Acad. Sci. Armenia, Yerevan, ARM) ,  PANOSYAN H. (“BIPI FIRM” LLC, Yerevan, ARM) ,  HAYRAPETYAN D. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM) ,  HAYRAPETYAN D. (Russian-Armenian (Slavonic) Univ., Yerevan, ARM) ,  YENGIBARYAN Y. (State Engineering Univ. Armenia, Yerevan, ARM)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7755  ページ： 77550Q.1-77550Q.8  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トルエンを出発原料に,窒素をドーパントに用いて,プラズマ支援化学蒸着によりダイヤモンド状炭素(DLC)ナノ複合材料薄膜を作製した。DLCの光学的性質と機械的性質に及ぼすプラズマ組成の影響を調べた。sp³とsp²の混成状態の存在をRaman分光法で立証し,それらの比を特性線から推定した。レーザエリプソメータを用いて高精度で測定した屈折率は1.5~3.1,厚みは50~250nmであった。屈折率の異常な変化を,sp³基質中の種々の大きさのsp²炭素の形成を用いて説明した。得られた構造中に種類の異なる炭素結合と水素結合を観測した。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  ナノ複合材料 ,  薄膜 ,  ドーパント ,  Raman分光法 ,  *屈折率 ,  水素結合 ,  結晶構造 ,  ナノ結晶 ,  FTIR分光法 ,  複合膜 ,  Ramanスペクトル ,  赤外吸収スペクトル ,  スペクトル ,  *薄膜成長 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： 透過スペクトル

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノフォトニクス ,  ダイヤモンド状炭素 ,  ナノ複合材料 ,  薄膜 ,  作製 ,  研究