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J-GLOBAL ID：201102214731950350   整理番号：11A0436861

RF誘導結合プラズマにおけるナノ粒子合成のための数値調査

Numerical investigation for nano-particle synthesis in an RF inductively coupled plasma

著者 (3件)： SHIGETA M ,  WATANABE T ,  NISHIYAMA H
資料名： THIN SOLID FILMS
巻： 457  号： 1  ページ： 192-200  発行年： 2004年 
JST資料番号： O6387A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： RF ,  誘導結合プラズマ ,  ナノ粒子合成 ,  数値 ,  調査