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J-GLOBAL ID：201102214778341395   整理番号：11A1569079

PLDによるぺロブスカイト型酸化物薄膜の結晶化プロセスと構造

著者 (10件)： 佐多教子 (東北大 大学院) ,  田村奨 (東北大 大学院) ,  小峰えりか (東北大 大学院) ,  長尾祐樹 (京大 大学院) ,  蔭山博之 (産業技術総合研) ,  野村勝裕 (産業技術総合研) ,  半田克巳 (京大 化研) ,  鶴井隆雄 (東北大 金属材料研) ,  井口史匡 (東北大 大学院) ,  湯上浩雄 (東北大 大学院)
資料名： 電気化学秋季大会講演要旨集  (電気化学合同秋季大会講演要旨集)
巻： 2011  ページ： 123  発行年： 2011年09月09日 
JST資料番号： X0038A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,  *ペロブスカイト型結晶 ,  *酸化物 ,  *薄膜 ,  結晶化 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  酸化マグネシウム ,  不純物 ,  その場観察 ,  構造 ,  エピタクシー ,  *パルスレーザ蒸着 ,  ガラス基板 ,  *酸化物薄膜 ,  非晶質構造
準シソーラス用語： *PLD【蒸着】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： PLD ,  酸化物薄膜 ,  結晶化 ,  プロセス