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J-GLOBAL ID：201102215931301280   整理番号：11A0956011

ナノ製造用の熱プラズマ

Thermal plasmas for nanofabrication

著者 (2件)： SHIGETA Masaya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MURPHY Anthony B (CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 44  号： 17  ページ： 174025.1-174025.16  発行年： 2011年05月04日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大気圧近傍の大強度放電により生成される熱プラズマはナノ粒子やナノ構造膜の製造の有望な手段である。本論文では,熱プラズマによるナノ製造を解説し,最も重要な問題の幾つかを定義する試みを行った。ナノ粒子製造に対して,過去五年間の実験研究を簡単に紹介した。過去20年間の理論研究と数値モデリングを解説した。また,ナノ構造膜を製造するための熱プラズマの利用を論じた。様々な技術と重要な物理現象,今後の発展のための要件について概説した。

シソーラス用語： 製造 ,  ナノテクノロジー ,  *熱プラズマ ,  *ナノ粒子 ,  ナノ構造 ,  モデリング ,  *薄膜成長 ,  プラズマ応用 ,  電子顕微鏡観察 ,  プラズマ合成 ,  *プラズマ
準シソーラス用語： ナノ製造

分類 (1件)： プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (1件)： 熱プラズマ