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J-GLOBAL ID：201102216475138069   整理番号：11A0095031

スティッキング防止のためのPoly-Siキノコ構造の開発

著者 (3件)： 明石照久 (豊田中研) ,  船橋博文 (豊田中研) ,  野々村裕 (豊田中研)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.P-1-1  発行年： 2010年10月14日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： カーエレクトロニクス ,  *センサ ,  *付着 ,  *防止 ,  ポリシリコン ,  突起部 ,  梁 ,  半導体プロセス ,  プロトタイプ ,  評価試験
準シソーラス用語： *MEMSセンサ

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電装品  (QG03070C)

タイトルに関連する用語 (4件)： スティッキング ,  Si ,  キノコ ,  開発