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J-GLOBAL ID：201102217405785489   整理番号：11A0136096

化学溶液堆積によるPb(Zr_1-xTi_x)O₃薄膜の鉛白金界面の生成シーケンス

Formation Sequence of Lead Platinum Interfacial Phases in Chemical Solution Deposition Derived Pb(Zr_1-xTi_x)O₃ Thin Films

著者 (5件)： DIPPEL Ann-Christin (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  SCHNELLER Theodor (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  WASER Rainer (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  PARK Daesung (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU) ,  MAYER Joachim (RWTH Aachen Univ., Aachen, DEU)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 22  号： 23  ページ： 6209-6211  発行年： 2010年12月14日 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学溶液堆積によるPZT薄膜生成における白金(111)/酸化チタン/酸化ケイ素/ケイ素基板と鉛層の界面相互作用についてX線回折,HAADF-STEM,透過型電子顕微鏡,エネルギー分散X線分光分析により検討した。PbTiO₃ゾル-ゲル薄膜の加熱によりPt₃Pb中間層が生成することを初めて明らかにした。膜組成を変えた実験から,PtPbおよびPt₃Pbの二種の相が可能であり,組成および温度により各安定領域が異なることを確かめた。Pt₃Pb層からPZTぺロブスカイト層への(111)構造伝達に影響する要因として,個別の層厚および分解速度を挙げた。

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *薄膜 ,  ウエハ【IC】 ,  酸化ケイ素 ,  酸化チタン ,  *白金 ,  *鉛 ,  *相互作用 ,  X線回折 ,  透過型走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *金属間化合物 ,  白金化合物 ,  鉛化合物
準シソーラス用語： HAADF-STEM ,  *PZT【鉛化合物】 ,  ケイ素基板 ,  *界面相互作用

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (7件)： 化学溶液堆積 ,  Pb ,  O3 ,  薄膜 ,  鉛白 ,  界面 ,  シーケンス