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J-GLOBAL ID:201102217453020575   整理番号:11A0165587

低-k誘電材料へのルートとしてのフェロセン含有ポリイミド

Ferrocene Containing Polyimides as a Route to Low-κ Dielectric Materials
著者 (3件):
資料名:
巻: 296  ページ: 392-398  発行年: 2010年 
JST資料番号: D0318C  ISSN: 1022-1360  CODEN: MSYMEC  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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新規低誘電材料について検討した。2,6-ジアミノトリアジン/ピロメリット酸からNMP溶液中でポリイミドを合成した。異なる割合のHNO3処理フェロセンとポリイミド溶液を混合し,フェロセン/ポリイミド複合材料を調製した。得られたフェロセン/ポリイミド複合材料の特性を,FTIR分光法,示差走査熱量測定(DSC),誘電特性測定,,熱重量分析(TGA),形態の電子顕微鏡観察などにより評価した。フェロセン濃度を変えた(1,3,5wt%)フェロセン/ポリイミド複合材料における誘電率~振動数(kHz)相関図などを提示した。検討の結果,本プロセスによるフェロセン/ポリイミド複合材料は,1MHzで2.93から3.04の誘電率を有することなどが分かった。
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分類 (1件):
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高分子固体の物理的性質 
タイトルに関連する用語 (3件):
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