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J-GLOBAL ID：201102218129594620   整理番号：11A0945518

気体中の水晶振動子のインピーダンスと周波数の圧力依存性の比較

Comparison of Pressure Dependence between the Frequency Change and the Impedance Change of a Quartz Crystal Oscillator Vibrating in the Viscous-Flowing Gas

著者 (3件)： 黒河明 (独立行政法人産業技術総合研究所) ,  北條久男 (バキュームプロダクツ株式会社) ,  小林太吉 (ブイピイアイ株式会社)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 54  号： 3  ページ： 196-198 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： O₂,Ne,Arの気体に対して気体中で振動する振動子のインピーダンスZと共振周波数Fの圧力依存性Z(p)とF(p)の測定を行ない,粘性圧力領域での測定結果を比較することでZとFの独立性について検討した。振動子には音叉型水晶振動子を用いて,インピーダンス変化ΔZと振動数変化ΔFを測定した。ΔZ特性とΔF特性とを照合するとΔZとΔFの圧力依存性が各気体に対して異なることから,ΔZとΔFの圧力特性には気体の種類に対する依存項に差異があって,互いに独立であることがわかる。したがって水晶振動子を気体センサーとして扱うときは,二つの独立な出力を利用できることになる。気体中で振動する水晶振動子のΔZとΔFを測定することで気体の種類あるいは粘性係数を同定できる可能性がある。この方式が有効な気体の圧力範囲は0.16~120kPa(Ne計測時)であり,粘性流領域に限定される。

シソーラス用語： *水晶振動子 ,  *気体 ,  *インピーダンス ,  *共振周波数 ,  *圧力効果 ,  粘度 ,  係数 ,  輸送係数 ,  度
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,  粘性係数

分類 (1件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

引用文献 (7件)：

• 1) A. Kurokawa, S. Tsukahara, T. Kobayashi, H. Hojo and S. Ichimura: Shinku, 47 (2004) 151.
• 2) A. Kurokawa, K. Odaka and S. Ichimura: Vacuum, 73 (2004) 301.
• 3) K. Kokubun, M. Hirata, M. Ono, H. Murakami and Y. Toda: J. Vac. Sci. Technol. A, 5 (1987) 2450.
• 4) K. Kokubun, M. Hirata, M. Ono, H. Murakami and Y. Toda: J. Vac. Sci. Technol. A, 3 (1985) 2184.
• 5) J. Kehrbusch, E. A Ilin, P. Bozek, B. Radzio and E. Oesterschulze: Sci. Technol. Adv. Mater., 10 (2009) 034601.

タイトルに関連する用語 (4件)： 気体 ,  水晶振動子 ,  インピーダンス ,  圧力依存性