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J-GLOBAL ID：201102218380778373   整理番号：11A0171581

高周波マグネトロンスパッタリングによリ得られたCu(In,Ga)Se₂の調製とキャラクタリゼーション

Preparation and Characterization of Cu(In,Ga)Se₂ Thin Films Derived by Frequency Magnetron Sputtering

著者 (3件)： HUANG Y.W. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  QUE Wenxiu (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN) ,  ZHANG J. (Xi’an Jiaotong Univ., Shaanxi, CHN)
資料名： Ferroelectrics  (Ferroelectrics)
巻： 402  ページ： 394-401  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： D0777A  ISSN： 0015-0193  CODEN： FEROA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 太陽電池用化合物として有望視されているCu(In,Ga)Se₂(CIGS)をマグネトロンスパッタリング法により調製し,そのキャラクタリゼーションをX線回折,エネルギー分散マイクロアナリシス,走査型電子顕微鏡を用いて行った。スパッタリングはCuGa,In,Seターゲット別々に制御して行った。スパッタリング成膜した後,少量のセレン粉末を共存させた状態で真空中で250°Cに加熱してセレン化を行い,さらに500°Cでアニールした。キャラクタリゼーションの結果より,セレン化および500°Cアニール後の試料は高密度で良好な結晶度を有することが確認できた。

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *太陽電池 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  セレン化物 ,  銅化合物 ,  インジウム化合物 ,  ガリウム化合物 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  熱処理 ,  結晶度
準シソーラス用語： *CIGS太陽電池

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  Cu ,  Ga ,  調製 ,  キャラクタリゼーション