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J-GLOBAL ID：201102218725431240   整理番号：11A0938862

深紫外リソグラフィー法を用いた単一カーボンナノチューブの冷陰極アレイの開発

Development of Cold Cathode Arays of Single Carbon Nanotubes using Ultraviolet Lithography Method

著者 (6件)： Chen Changqing (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing) ,  Ding Mingqing (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing) ,  Li Xinghui (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing) ,  Bai Guodong (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing) ,  Zhang Fuquan (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing) ,  Feng Jinjun (Beijing Vacuum Electronics Res. Inst., Beijing)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 30  号： 1  ページ： 1-5  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 電界エミッタの直径が1μm,0.6μm,0.4μm,0.2μmの四つの型の単一カーボンナノチューブ(CNT)アレイを作製した。視射角変化による開口低減の最新技術と従来型紫外線(UV)リソグラフィーを結合した。開口サイズの低減により各エミッタでのCNTの数が減少することを走査電子顕微鏡画像で示した。0.2μmの開口で作製したアレイにおいて,各単位格子でわずか1~3のCNTを観測したが,大部分のエミッタは単一のものであった。さらに,その開始場は2Vμm(-1)に低下した。20Vμm(-1)の場において,放射電流密度が0.35Acm(-2)に到達し,1.0μmのCNTエミッタアレイに比べて4倍,高密度充填CNT薄膜に比べて1~2桁高かった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 走査電子顕微鏡 ,  *リソグラフィー ,  結晶格子 ,  電流密度 ,  *カソード ,  *電界放出 ,  アレイ ,  紫外線 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  直径 ,  開口
準シソーラス用語： カーボン ,  顕微鏡画像 ,  *深紫外リソグラフィー ,  深紫外線 ,  単位格子 ,  単一壁カーボンナノチューブ ,  電界エミッタ ,  平面アレイ ,  *冷陰極

分類 (2件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 深紫外 ,  リソグラフィー ,  カーボンナノチューブ ,  冷陰極 ,  アレイ ,  開発