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J-GLOBAL ID:201102219092041990   整理番号:11A1393953

液体状態でナノピペットプローブを使用した金属メッキのナノスケール堆積

Nanometer-Scale Deposition of Metal Plating Using a Nanopipette Probe in Liquid Condition
著者 (2件):
資料名:
巻: 50  号: 8,Issue 4  ページ: 08LB15.1-08LB15.6  発行年: 2011年08月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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液体状態でナノピペットプローブを持った原子間力顕微鏡法(AFM)を使用した,局所金属メッキの革新的技術について述べる。CuSO4電解質溶液によって満たされたガラスナノピペットがAFMプローブとして使用された。電解質の満たされたナノピペット内部の電極ワイヤーとAuをスッパッタリングされたガラススライドの導電性表面がそれぞれ,陽極と陰極として採用された。ナノピペット溶液の乾燥とプローブ先端開口の閉鎖を防ぐために,ナノピペットの先端がAu基板上に置かれた液セルの中の同じ電解溶液に浸漬された。液体中でプローブ先端と表面の間の距離の制御に関しては,調整フォーク石英結晶共鳴体上に接着されたナノピペットプローブはタッピングモードの周波数変調方法を使用するために,垂直に振動させられた。堆積の間,プローブと表面間距離制御を利用することにより,ナノメータースケールCuドットが液状態とはいえ,堆積の拡散無しでAu表面上にうまく堆積された。液体中での局所堆積技術はミクロ/ナノメータースケールデバイスの形成や生態試料配列のような,色々な分野に適応されるであろう。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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電気めっき  ,  顕微鏡法 
タイトルに関連する用語 (3件):
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