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J-GLOBAL ID：201102219990956172   整理番号：11A1358895

レーザー学会産業賞を受賞して -CLBO素子加工のための低湿度環境加工技術-

著者 (4件)： 戸田伸一郎 (光学技研) ,  山口和博 (光学技研) ,  田中光弘 (光学技研) ,  岡田幸勝 (光学技研)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 39  号： 8  ページ： 637-638  発行年： 2011年08月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,深紫外光発生用の波長変換素子として用いられているCLBO(CsLiB₆O₁₀)波長変換素子の加工技術として,著者の企業で行っている一連の低湿度環境化での素子加工方法について解説した。CLBO結晶は強い吸湿性をもっており極力水分を避けた加工が必要であるため,すべての工程を低湿度加工室の中で行っている。しかし,湿式の研磨加工を行う必要から一連の工程にわたり水分を避けることが難しいため,各工程間に加熱工程を設けることで,各工程の水分に関する履歴を極力少なくしている。加工概要,結晶軸だし,切断加工,最終的な仕上げ研磨,CLBO素子の表面粗さおよび透過波面精度の様子を示した。

シソーラス用語： *周波数変換 ,  *光学素子 ,  技術 ,  湿度調節 ,  研磨 ,  *セシウム化合物 ,  リチウム化合物 ,  ホウ素化合物 ,  酸化物 ,  *紫外線
準シソーラス用語： 加工技術 ,  研磨加工 ,  *深紫外線 ,  *波長変換

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー ,  学会 ,  産業 ,  湿度 ,  環境