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J-GLOBAL ID：201102220471153222   整理番号：11A1154113

反応性dcおよびrf共スパッタリング法で製作されたCrAlN/BNナノ複合被膜の機械的特性と酸化抵抗

Mechanical properties and oxidation resistance of CrAlN/BN nanocomposite coatings prepared by reactive dc and rf cosputtering

著者 (7件)： NOSE M. ,  KAWABATA T. ,  WATANUKI T. ,  UEDA S. ,  FUJII K. ,  MATSUDA K. ,  IKENO S.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 205  号： Supplement 2  ページ： S33-S37  発行年： 2011年07月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CrAlN/BNナノ複合被膜を反応共スパッタリング,すなわち,CrAlとh-BNターゲットの,パルス化した,それぞれdcおよびrfのスパッタリングで蒸着した。X線回折(XRD)と制限視野電子線回折(SAED)分析の結果は,B1構造のCrAlN相の非常に微細な粒から成るCrAlN/BN被覆を示した。BNの体積割合を8vol.%以上に増加すると,粒のナノ結晶質性が,CrAlN/BN被覆の細粒の分散を通じて観察された。透過電子顕微鏡(TEM)を使用した断面の観察で,最高水準の硬度を示す被覆は,幅が~20nmで,長さが~50nmの粒から成る繊維状構造を持っていることが明らかになった。X線光電子分光学(XPS)分析で,被覆は主にCrAlNとh-BN相から成ることが判明した。被膜のインデンテーション硬度(H_IT)と実効ヤング率(E^*)は,BN層の割合と共に増加し,~7vol.%のBN相量で,~46GPaと~440GPaの最大値に達した。これは,その後,やや減少し,18vol.%のBN含有量では,それぞれ~40GPaと~350GPaになった。さらに,CrAlN/BN被膜は,CrAlN被膜と比べて,優れた酸化抵抗を示した。1時間の空気中の800°Cのアニーリングの後には,CrAlN被膜のインデンテーション硬度は,蒸着直後の硬度の50%まで減少した。これと対照的に,CrAlN/BNナノ複合被膜の硬度は同じままか,増加して,約46GPaの値に達した。1時間の900°Cのアニーリングの後には,すべての被膜の硬度は約40%までに減少した。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *窒化物 ,  *クロム化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *窒化ホウ素 ,  ナノ複合材料 ,  *複合膜 ,  *セラミック被覆 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  *高速度鋼 ,  *反応性スパッタリング ,  同時性 ,  ターゲット ,  クロム合金 ,  アルミニウム含有合金 ,  窒素 ,  *機械的性質 ,  硬度 ,  Young率 ,  シリコンウエハ ,  *性質
準シソーラス用語： Siウエハ

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (9件)： 反応性 ,  DC ,  RF ,  共スパッタリング ,  製作 ,  BN ,  複合被膜 ,  機械的特性 ,  酸化抵抗