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J-GLOBAL ID：201102223761516808   整理番号：11A1789705

第六世代小型圧力センサ

6th Generation Small Pressure Sensor

著者 (3件)： NISHIKAWA Mutsuo (Fuji Electric Co., Ltd.) ,  MATSUSHITA Koji (Fuji Electric Co., Ltd.) ,  SAITO Kazunori (Fuji Electric Co., Ltd.)
資料名： Fuji Electric Review  (Fuji Electric Review)
巻： 57  号： 3  ページ： 103-107  発行年： 2011年08月20日 
JST資料番号： S0167A  ISSN： 0429-8284  CODEN： FUERB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自動車エンジンで使用するための,第六世代ディジタルトリミング型小型圧力センサを開発した。圧力センサは,エンジンの高効率化や排気ガスのクリーン化を促進するエンジン管理の効率と精度を向上させるための重要なデバイスのひとつとなっている。当社は,圧力センサに関して独自の高効率回路技術と高度MEMS技術を提案してきたが,2007年以降,CMOSプロセスを使用した第五世代ディジタルトリミング型小型圧力センサを量産している。今回,本センサでは,異方性エッチング技術を使用して高精密ダイヤフラム加工をおこない,センサユニットの面積を削減した。さらに,設計ルールを見直し,電気回路と保護素子の大きさを縮小した。従来の第五世代製品と同等の機能,検出精度,およびEMC(電磁適合性)能力を維持しながら,チップ面積を70%に縮小した。

シソーラス用語： *内燃機関 ,  *圧力センサ ,  地球温暖化 ,  環境保全 ,  燃料消費率 ,  大気汚染 ,  電磁干渉 ,  ダイヤフラム ,  エッチング ,  小型化 ,  電磁両立性
準シソーラス用語： EMC【電磁干渉】 ,  異方性エッチング ,  *自動車エンジン ,  燃費

分類 (1件)： 内燃機関一般  (PB02010R)

タイトルに関連する用語 (2件)： 世代 ,  圧力センサ