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J-GLOBAL ID：201102223962291740   整理番号：11A0369390

p(+)-型Si基板の選択的陽極酸化による微細チップ配列の製造

Micro-tip array fabrication by selective anodization of p(+)-type Si substrate

著者 (4件)： UEHARA S ,  SUGIMOTO J ,  YONO D ,  MATSUBARA T
資料名： PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH
巻： 197  号： 1  ページ： 275-278  発行年： 2003年 
JST資料番号： O5346A  ISSN： 0031-8965  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： Si基板 ,  陽極酸化