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J-GLOBAL ID:201102224637886695   整理番号:11A0644846

ポリシラン膜の選択的光退色で作製したアンテナ結合型Y分岐を持つマッハツェンダ型熱-光スイッチ

Mach-Zehnder Type Thermo-Optic Switch with Antenna-Coupled Y-Junction Fabricated by Selective Photobleaching of Polysilane Films
著者 (5件):
資料名:
巻: 459  ページ: 153-156  発行年: 2011年 
JST資料番号: D0744C  ISSN: 1013-9826  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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ポリシラン膜の選択的光退色を利用したアンテナ結合型Y分岐を持つマッハツェンダ型熱光学スイッチ(MZ-TOSW)について検討した。アンテナ結合型Y分岐の最適分岐角度は3°で,分岐損失は通常型の4.6dBに比べて低い0.16dBであった。また,長さも5cmから3cmへ短くなる。光屈折性ポリシランを導波材料として用いた。UV照射でSi-Si結合が破断してシロキサン結合となり,330nm付近の吸収と屈折率が減少して光導波路が作製可能となる。通常法に比べてプロセスが簡略化される。λ=1.55μmでMZ-TOSWのスイッチング特性を調べた。on/off比は9.9dBで,20dB以上が必要である。スイッチング出力は11.4mWであった。
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